軌道振動巡檢分析器

FOUP 形式

  • 保護「極其脆弱」的資產，軌道振動檢測分析器以FOUP形式運行， 接收所有振動數據及影像畫面，幫助客戶找出哪些軌道段落是「良率黑點」，確保每一片晶圓都在平穩的環境下移動。
  • 核心技術與功能

  1. OHT無縫接軌

  2. 一體化多功能整合

  3. 振動數據分析

  4. 現場影像紀錄

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