此外，BWS是一種混合設備並有產出晶片分類功能和儲存功能，整合晶圓篩選機與純晶片儲存裝置。
在晶圓篩選機小型環境中以開關門分離儲存區域。
透過整合雙臂潔淨機械手臂，可實現高信賴度和低微粒塵產生。
使用伺服機械手臂和線性追跡，高速傳送模式是可行的。
使用夾鉗式持片，可避免晶片背面受污染。
可依客戶需求設計搭載 如:800、1600、2400 或 高於3200 片以上的儲存容量。
另有 N2 Purge Function 機型可供選擇。