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超慧科技所研發的SPT- AI Series,為能夠儲存超過2000片以上的晶圓(Wafer)倉儲設備,其整合了晶圓篩選機(Sorter)與純晶片儲存裝置(Stocker)的功能。
此外,BWS是一種混合設備並有產出晶片分類功能和儲存功能,整合晶圓篩選機與純晶片儲存裝置。在晶圓篩選機小型環境中以開關門分離儲存區域。透過整合雙臂潔淨機械手臂,可實現高信賴度和低微粒塵產生。使用伺服機械手臂和線性追跡,高速傳送模式是可行的。使用夾鉗式持片,可避免晶片背面受污染。可依客戶需求設計搭載 如:800、1600、2400 或 高於3200 片以上的儲存容量。另有 N2 Purge Function 機型可供選擇。
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