晶圓防刮模組

Argus

  • 機器人搭載視覺系統，辨識FOUP內晶圓達到防刮片效果
  • 主要優勢
  1. 可辨識前垂，疊片，斜片
  2. 保持Finger與Wafer距離至少1.5mm
  3. Warpage偵測3mm以上
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